Test Charts

Auflösungstests, Siemens-Sterne, Pinholes und Schachbretter

Unsere Testcharts sind mit hochpräziser E-Beam-Lithographie hergestellt. Als Träger dient ein 10×10 mm² großes Quarzsubstrat mit breiter spektraler Transmission (DUV-VIS-NIR), auf das eine Chromschicht hoher optischer Dichte aufgetragen ist.

Die Teststrukturen werden durch die Abtragung der Chromschicht erzeugt, wobei Strukturgrößen bis zu 100 nm möglich sind und eine exzellente Maßhaltigkeit und Geradheit der Strukturkanten gewährleistet ist. Die Testcharts sind in einen Objektträger der Standartgröße 75×25 mm² eingebettet.

Die Strukturen sind als Negativ ausgeführt, d.h. nur die Strukturen auf dem Test sind transparent, der Hintergrund wird durch eine Chromschicht geblockt.

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Jetzt auch bei Edmund Optics verfügbar

Bild: Edmund Optics GmbH

Auflösungstest TC-RT01

Mit diesem Auflösungstest lässt sich sehr leicht und schnell die Auflösungsgrenze eines Objektivs im Durchlicht bestimmen. Es liegen 59 Strichmuster-Gruppen mit 7.5 bis 3300 Linienpaaren/mm in horizontaler und vertikaler Ausrichtung vor.

Die einfache Anordnung der Strukturen und direkte Angabe der Strukturgröße auf dem Test gewährleistet eine intuitive Handhabung. Zusätzlich befinden sich 5 Pinholes mit Durchmessern zwischen 4.0 µm und 0.25 µm auf dem Testchart, mit denen es möglich ist, die Abbildungsfehler einer Optik genauer zu charakterisieren.

Datenblatt TC-RT01

Siemensstern TC-RT02

Dieser Auflösungstest aus 5 Siemenssternen weißt die Besonderheit auf, dass die spitz zulaufenden Segmente im Zentrum des Sterns bis zu einer minimalen Breite von 150 nm präzise gefertigt sind.

Damit eignet sich der Test auch für die Bestimmung der Auflösung von Mikroskopobjektiven sehr hoher numerischer Apertur.

Zusätzliche Mess- und Positionsmarken erleichtern die Justage.

Datenblatt TC-RT02

Schachbrett TC-CB50

Dieses 9.0 x 9.0 mm² große Schachbrettmuster aus quadratischen 50 x 50 µm² Feldern eignet sich insbesondere für die Prüfung von Verzeichnung und Bildfeldwölbung.

Die sehr scharfen Kanten eigenen sich aber auch zur Bestimmung der lokalen Abbildungsqualität.

Datenblatt TC-CB50

Schachbrett TC-CB100

Dieses ebenfalls 9.0 x 9.0 mm² große Schachbrettmuster hat quadratischen Felder der Größe 100 x 100 µm²  und ist für Objektive mit schwächerer Vergrößerung besser geeignet als TC-CB50.

Datenblatt TC-CB100

Sterntest TC-ST01

Auf diesem Testchart sind Pinholes von 0.18 µm bis 4 µm Durchmesser angeordnet. In zwei Reihen finden sich die identisch abgestuften Pinholes in umgekehrter Reihenfolge. Um die Pinholes ist entsprechend ihrer Größe für genügend dunkle Fläche gesorgt, um das gesamte Sehfeld des zu prüfenden Objektivs abzudunkeln. Die Pinholes eignen sich für den Sterntest von Mikroobjektiven und für allgemeine optische Entwicklungsaufgaben.

Datenblatt TC-ST01

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