Long Distance Microscope für Vakuum- und Prozesskammern
Hochauflösend aus großer Distanz
- Optische Auflösung bis 1 µm
- Arbeitsabständ 100 mm
- Wellenlängenbereich von UV bis MIR
Eine hohe Auflösung ist auch unter schwierigen Bedingungen möglich: unser Long Distance Microscope
Proben- und Prozessbeobachtungen in situ in einer Vakuum- oder Prozesskammer sind häufig nur mit einem großen Abstand vom Mikroskop bis zum Objekt realisierbar – auf Kosten der Auflösung. Wir begegnen dieser Herausforderung mit unserem Long-Distance-Prozessmikroskope, das auch aus einer Distanz von 100mm hochauflösende Ergebnisse liefern.
Darüber hinaus bieten wir sowohl Zubehör als auch Kameras an, mit denen Sie beim Fokussieren, Pointing und Abbilden der Objekte optimale Ergebnisse erzielen. Mit unserer Marke lightsource.tech haben wir uns auf leistungsstarke Lichtquellen spezialisiert, die die Arbeit mit unseren Prozessmikroskopen vervollständigen.
Typische Bereiche, in denen unsere Prozessmikroskope zur Anwendung kommen, sind die Laserstrukturierung, Dünne Schichten (MBE/OMBE), CVD/PVD Mikro-3D-Druck, LED/OLED, Mikrosystemtechnik und die Nanotechnologie.
1,0 µm
100 mm
200 nm – 2000 nm
Direkt an Prozesskammern
montierbar
Long Distance Microscope: hochauflösendes In-situ-Objektiv von UV bis NIR
Unser LD-Prozessmikroskop wurde speziell für den In-situ-Einsatz an Vakuum- oder Prozesskammern entwickelt und wird von außen zusammen mit einem XYZ-Tisch montiert, um keinen Raum in der Kammer einzunehmen.
Mit seiner Numerischen Apertur von 0,25 ist es möglich, Objekte aus 100 mm Entfernung in einem Abbildungsmaßstab von 10:1 und mit einer Auflösung von 1 µm abzubilden.
Das leistungsstarke LD-Prozessmikroskop deckt das gesamte Spektrum von 200 nm bis 2000 nm ab, von 400 nm aufwärts ist die Optik beugungsbegrenzt korrigiert.
Der Tubus des Mikroskops lässt sich individuell anpassen und mit Zubehör wie Beleuchtung oder Kamera-Ports ergänzen.
Erweiterte Einsatzmöglichkeiten
Optional kann eine koaxiale Auflichtbeleuchtung am Objektiv des Long DistanceMicroscope angebracht werden, die mit einer unserer LEDs (Weißlicht oder monochromatisch) oder einer unserer fasergekoppelten Lichtquellen ausgestattet ist. In Kombination mit einem unserer Monchromatoren (Monochromator-F oder Hyperchromator) kann mit dem LD-Prozessmikroskop Hyperspectral Imaging verwirklicht werden, auch der Einsatz von Anregungslicht für Micro-Spot-Spektroskopie ist möglich. Bei der Verwendung eines Lasers können hohe punktuelle Intensitäten erzielt werden.
- Auflösung 1,0 µm
- Wellenlängenbereich von DUV bis NIR
- Direkt an eine Vakuumkammer montierbar
- XYZ-Tisch für Ausrichtung und Fokussierung des Objektivs
- Individuelle Anpassung des Tubus für Beleuchtung und Kameras möglich
- Spezielle Kameras für UV und NIR
- Koaxiale Auflichtbeleuchtung verfügbar
- Hyperspectral Imaging
- Micro-Spot-Spektroskopie
- Arbeitsabstand 100mm
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Telefon: +49 (0)551 270765-1
E-Mail: sales@technologie-manufaktur.de
Produktspezifikationen:
| Arbeitsabstand | 100,0 mm |
| Vergrößerung | 10 x |
| Objektfelddurchmesser | 2,0 mm |
| Bildfelddurchmesser | 20,0 mm |
| Numerische Apertur | 0,25 |
| Mittenabschattung | 45% |
| Auflösung | 1µm @ 405nm |
| Wellenlängenbereich | 0,2 µm – 2,0 µm |
| Transmission 0,25 µm – 2,0 µm | > 50 % |
| Verzeichnung | < 0,5 % |