Mikroskop für den Einsatz an Vakuum- und Prozesskammern

Hohe Auflösung auf große Distanz

Unser Mikroskop ermöglicht es, Proben und Prozesse in einer (Vakuum-) Kammer in situ mit einer Auflösung von 1 µm zu beobachten. Das Objektiv wird von außen an einen Viewport gesetzt und ragt nicht ins Kammerinnere hinein. Das zu beobachtende Objekt kann bis zu 100 mm vom Viewport entfernt im Inneren der Kammer liegen.

Neben der Bildgebung können verschiedene spektroskopische Verfahren im Wellenlängenbereich von 200 – 2000 nm angewendet werden.

Typische Anwendungen finden sich in den Bereichen Dünne Schichten (MBE/OMBE, CVD/PVD), Laserstrukturierung, Mikro-3D-Druck, LED/OLED, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie.

Optische Leistung

Mikroskopobjektiv 10x/0.25 mit 100 mm Arbeitsabstand

Das Objektiv mit Vergrößerung 10x liefert über den gesamten Wellenlängenbereich von 200 nm bis 2000 nm eine sehr gute Abbildungsleistung. Es ist ab 400nm aufwärts beugungsbegrenzt korrigiert und liefert mit einer Numerischen Apertur von 0.25 eine Auflösung von 1 µm.
Das optischen Design aus Spiegeln und Linsen (katadioptrisches System) berücksichtigt das Vakuumfenster des Viewports. Das ist notwendig, um die hohe Auflösung und ein Objektfeld von 2 mm über einen großen Wellenlängenbereich ohne Nachfokussieren zu realisieren.

Beleuchtungssysteme

Koaxiale Auflichtbeleuchtung, Fluoreszenz, Hyperspectral Imaging

Optional können Sie eine Auflichtbeleuchtung am Objektiv anbringen. Als Lichtquelle bieten wir wahlweise Weißlicht- oder monochromatische LEDs an. Durch die Segmentierung der Lichtquelle kann das Objekt aus verschiedenen Richtungen schräg beleuchtet werden. Das ermöglicht auch bei sehr flachen Objekten eine gute Kontrastierung.
Ebenfalls möglich ist die Einbringung von Anregungslicht zur Fluoreszenz- oder Raman-Anregung. Bei Verwendung eines Lasers können hohe punktuelle Intensitäten erzielt werden.

Alternativ kann auch eine fasergekoppelte Beleuchtung verwendet werden. In Kombination mit unseren Monochromatoren  wird dadurch Hyperspectral Imaging möglich.

Flexibel kombinierbar

Anpassung an Ihren Messaufbau mit Standardkomponenten

Der Tubus hinter den Grundkörper des Objektivs lässt sich leicht durch eine individuell an ihre Messaufgabe angepasste Variante ersetzten. So ist beispielsweise der Betrieb von zwei Kameras und die Ankopplung an ein Spektrometer möglich.

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Telefon: +49 (0)551 200 192 60

Spezifikationen

Arbeitsabstand100.0 mm
Vergrößerung10 x
Objektfelddurchmesser2.0 mm
Bildfelddurchmesser20.0 mm
Numerische Apertur0.25
Mittenabschattung45%
Auflösung1µm @ 405nm
Wellenlängenbereich0.2 µm – 2.0 µm
Transmission 0.25 µm – 2,0 µm> 50 %
Verzeichnung< 0,5 %

Gallerie

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