ULD-Prozessmikroskop, Arbeitsabstand 250 – 530 mm

Objektiv für Vakuum- und Prozesskammern

Hohe Auflösung auf sehr große Distanz

Unser ULD-Mikroskop ermöglicht es, Proben und Prozesse in einer (Vakuum-) Kammer in situ mit einer Auflösung von bis zu 3.6 µm zu beobachten. Das Objektiv wird von außen an einen Viewport gesetzt und läßt sich über einen speziellen Adapter auf das zu beobachtende Objekt in der Kammer ausrichten. Es sind Distanzen bis zu einem halben Meter möglich.

Eine typische Anwendung ist die SPM/STM-Mikroskopie, bei der eine Spitze an die Probe angenähert werden muss. Das ULD-Mikroskop hilft dabei, unterschiedliche Bereiche der Probe zu identifizieren und die Annäherung bis auf etwa ein zehntel Millimeter durchzuführen.

Einfache Ausrichtung auf das Objekt

Kippbarer Adapter zur Montage an einem Vakuum-Flansch

Das ULD-Prozessmikroskop wird über einen um zwei Achsen verkippbaren Adapter an einen Flansch Ihrer Vakuumkammer angeschraubt. Sowohl DN40 als auch DN63 Flansche können verwendet werden. Über 4 Rändelschrauben kann das Objektiv hochgenau auf das Objekt ausgerichtet werden. Der Kippwinkel berägt pro Achse +/- 5°.

Scheimpflug-Adapter

Scharfe Bilder trotz Schrägbeobachtung

Häufig ist es nicht möglich senkrecht auf ein ebenes Objekt zu sehen. Es ist dann evtl. nur ein relativ schmaler Streifen in der Bildmitte scharf zu sehen, der Rest ist umscharf und verschwommen.

Mit unseren Scheimpflug-Adaptern ist es möglich, die Kamera zu verkippen und dadurch wieder das gesamte Objekt scharf abzubilden.

Es sind Adapter mit 0, 15, 30 und 40 Grad Neigungswinkel verfügbar.

Jetzt Anfragen!

Telefon: +49 (0)551 200 192 60

Spezifikationen

Arbeitsabstand 250 – 530 mm
Abmessung Länge 233 – 344 mm *, max. Durchmesser 85 mm
Vergrößerung 1.1 – 0.36*
Objektfelddurchmesser 14.5 – 44.4 mm
Bildfelddurchmesser 16 mm
Numerische Apertur 0.054 – 0.027 *
Auflösung 3.5 µm – 5 µm
Wellenlängenbereich Sichtbares Licht
Previous Next
Close
Test Caption
Test Description goes like this