Eine hohe Auflösung ist auch unter schwierigen Bedingungen möglich: unsere Long Distance Microscopes

Proben- und Prozessbeobachtungen in situ in einer Vakuum- oder Prozesskammer sind häufig nur mit einem großen Abstand vom Mikroskop bis zum Objekt realisierbar – auf Kosten der Auflösung. Wir begegnen dieser Herausforderung mit unseren Long-Distance- und Ultra-Long-Distance-Prozessmikroskopen, die auch aus einer großen Distanz hochauflösende Ergebnisse liefern.

Darüber hinaus bieten wir sowohl Zubehör als auch Kameras an, mit denen Sie beim Fokussieren, Pointing und Abbilden der Objekte optimale Ergebnisse erzielen. Mit unserer Marke lightsource.tech haben wir uns auf leistungsstarke Lichtquellen spezialisiert, die die Arbeit mit unseren Prozessmikroskopen vervollständigen.

Typische Bereiche, in denen unsere Prozessmikroskope zur Anwendung kommen, sind die Laserstrukturierung, Dünne Schichten (MBE/OMBE), CVD/PVD Mikro-3D-Druck, LED/OLED, Mikrosystemtechnik und die Nanotechnologie.

Auflösung

1,0 µm

Arbeitsabstand

100 – 500 mm

Wellenlängenbereich

200 nm – 2000 nm

HighTech
aus der Technologie Manufaktur

Direkt an Prozesskammern
montierbar

Long-und-ultra-long-distance-mikroskope

Long Distance Microscope: hochauflösendes In-situ-Objektiv von UV bis NIR

Unser LD-Prozessmikroskop wurde speziell für den In-situ-Einsatz an Vakuum- oder Prozesskammern entwickelt und wird von außen zusammen mit einem XYZ-Tisch montiert, um keinen Raum in der Kammer einzunehmen.

Mit seiner Numerischen Apertur von 0,25 ist es möglich, Objekte aus 100 mm Entfernung in einem Abbildungsmaßstab von 10:1 und mit einer Auflösung von 1 µm abzubilden.

Das leistungsstarke LD-Prozessmikroskop deckt das gesamte Spektrum von 200 nm bis 2000 nm ab, von 400 nm aufwärts ist die Optik beugungsbegrenzt korrigiert.

Der Tubus des Mikroskops lässt sich individuell anpassen und mit Zubehör wie Beleuchtung oder Kamera-Ports ergänzen.

Erweiterte Einsatzmöglichkeiten

Optional kann eine koaxiale Auflichtbeleuchtung am Objektiv des Long DistanceMicroscope angebracht werden, die mit einer unserer LEDs (Weißlicht oder monochromatisch) oder einer unserer fasergekoppelten Lichtquellen ausgestattet ist. In Kombination mit einem unserer Monchromatoren (Monochromator-F oder Hyperchromator) kann mit dem LD-Prozessmikroskop Hyperspectral Imaging verwirklicht werden, auch der Einsatz von Anregungslicht für Micro-Spot-Spektroskopie ist möglich. Bei der Verwendung eines Lasers können hohe punktuelle Intensitäten erzielt werden.

  • Auflösung 1,0 µm 
  • Wellenlängenbereich von DUV bis NIR
  • Direkt an eine Vakuumkammer montierbar
  • XYZ-Tisch für Ausrichtung und Fokussierung des Objektivs
  • Individuelle Anpassung des Tubus für Beleuchtung und Kameras möglich
  • Spezielle Kameras für UV und NIR
  • Koaxiale Auflichtbeleuchtung verfügbar
  • Hyperspectral Imaging
  • Micro-Spot-Spektroskopie
  • Arbeitsabstand 100mm
long-distance-microscope

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Telefon: +49 (0)551 270765-1

E-Mail: sales@technologie-manufaktur.de

Produktspezifikationen:

Arbeitsabstand 100,0 mm
Vergrößerung 10 x
Objektfelddurchmesser 2,0 mm
Bildfelddurchmesser 20,0 mm
Numerische Apertur 0,25
Mittenabschattung 45%
Auflösung 1µm @ 405nm
Wellenlängenbereich 0,2 µm – 2,0 µm
Transmission 0,25 µm – 2,0 µm > 50 %
Verzeichnung < 0,5 %

Ultra Long Distance Microscope: hochauflösende Vergrößerungen aus bis zu 500 mm Entfernung

Das ULD-Prozessmikroskop ermöglicht einen Arbeitsabstand von bis zu 500 mm und wird mit einem Adapter von außen an den Viewport montiert.Somit ist es möglich, auch aus großer Entfernung in situ Prozesse mit einer Auflösung von maximal 3,6 µm zu beobachten.

Mit unseren Scheimpflug-Adaptern und der richtigen Kamera bilden Sie Ihr Objekt auch bei schräger Beobachtung komplett scharf ab.

Typische Anwendungsbereiche für das Ultra Long DistanceMicroscope ist die SPM- oder STM-Mikroskopie, für die eine feine Spitze über das Objekt geführt werden muss. Mit dem ULD-Mikroskop können die unterschiedlichen Bereiche des Objekts identifiziert und die Spitze bis auf etwa ein Zehntelmillimeter dem Objekt angenähert werden.

Kippoptik

Scharfe Bilder trotz Schrägbeobachtung

Häufig ist eine senkrechte Ausrichtung des Objektivs auf das Objekt nicht möglich, sodass nur ein schmaler Streifen in der Bildmitte scharf abgebildet wird, während der Bildrand unscharf und verschwommen bleibt.
Mit unseren Scheimpflug-Adaptern kann das Objektiv verkippt werden, sodass das gesamte Objekt scharf abgebildet wird. Es sind Adapter mit einem Neigungswinkel von 0°, 15°, 30°, und 40° verfügbar.

  • Auflösung 3,6 µm
  • Arbeitsabstand bis 500mm
  • Wellenlängenbereich von 350 nm bis 900 nm
  • Direkt an der Vakuumkammer montierbar
  • Objektiv über Innenfokus manuell fokussierbar
  • Einfache Ausrichtung durch verkippbaren Adapter
  • Scheimpflug-Adapter für durchgehend scharfe Bilder
  • Passende Kamera für optimale Ergebnisse
  • Geeignet für SPM- und STM-Mikroskopie
ultra-long-distance

Einfache und präzise Ausrichtung auf das Objekt

Das ULD-Prozessmikroskop wird mit einem Adapter an einen DN40- oder DN63-Flansch der Vakuumkammer angeschraubt. Der Adapter ist über zwei Achsen kippbar, wobei die Kippwinkel +/- 5° betragen. Mit vier Rändelschrauben lässt sich das Objektiv hochgenau auf das Objekt ausrichten.

Scheimpflug

Produktspezifikationen:

Arbeitsabstand 250 – 530 mm
Abmessung Länge 233 – 344 mm *, max. Durchmesser 85 mm
Vergrößerung 1,1 – 0,36*
Objektfelddurchmesser 14,5 – 44,4 mm
Bildfelddurchmesser 16 mm

(* abhängig vom Arbeitsabstand)