Hochauflösende Mikroskop-Objektive für Vakuum-Kammern

100 mm freier Abstand in der Kammer,
1 µm Auflösung

Monochromatoren nach Maß

Für Lichtquellen von ENERGETIQ

Test Charts für die Mikroskopie

Bis zu 100 nm kleine Strukturen, 3300 Linienpaare pro Millimeter

Produkte

Vakuum Optik

Vakuum Optik

Unser speziell für den Einsatz an Vakuumkammern entwickeltes Objektiv ermöglicht es Prozesse in einer Vakuumkammer in situ mit einer Auflösung von 1 µm zu beobachten.

Das Objektiv wird von außen an einen Viewport gesetzt und nimmt keinen Raum in der Kammer ein. Das zu beobachtende Objekt kann bis zu 100 mm vom Viewport entfernt frei im Inneren der Vakuumkammer liegen.

Principle of a Monochromator

Monochromatoren nach Maß

Wir bauen Monochromatoren, die für Ihre Anforderungen maßgeschneidert sind. Alle Funktionalitäten können motorisieren werden.

Für viele Anwendungen empfehlen wir die Lichtquelle EQ-99X von ENERGETIQS. Diese kann direkt an unseren Monochromator ankoppeln werden. So werden Leistungsverluste über eine Faserkopplung vermieden.

Sowohl Freistrahl als auch die Einkopplung in einer Faser sind möglich.

Auflösungstest 3300 Lp/mm

Auflösungstests für die Mikroskopie

In hochpräziser E-Beam-Lithographie hergestellte Test Charts.

  • Test Charts  mit 7.5 bis 3300 Linienpaaren/mm und Pinholes mit Durchmessern zwischen 4.0 µm und 0.25 µm
  • Siemensstern, Segmente mit minimaler Breite von nur 150 nm
  • Pinholes von 0.18 µm bis 4 µm Durchmesser
  • Schachbrettmuster mit quadratischen 50×50 µm² oder 100×100 µm² Feldern
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Test Description goes like this