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Hyperspektrale Beleuchtung mit der Lichtquelle EQ-99X von ENERGETIQS

Die EQ-99X hat einen sehr breiten Spektralbereich von 200 nm -2200 nm. Wegen ihrer extrem großen Leuchtdichte eignet sie sich sehr gut für die Verwendung mit Mutimode-Fasern.

Unsere Beleuchtungslösungen nutzen die Leistung dieser Lichtquelle optimal und stellen das Licht für die Verwendung mit Multimode-Fasern zur Verfügung.

Unser Hyperchromator erzeugt monochromatisches Licht, mit dem High-Speed Filterrad ist die Verwendung von beliebigen Filtern möglich und unser Faserkoppler bietet das gesamte Spektrum der EQ-99X an.

Principle of a Monochromator

Hyperchromator

Unser Hyperchromator nimmt direkt das Licht des Plasmas der EQ-99X auf und isoliert eine wählbare Wellenlänge aus dem breiten Spektrum von 200 nm bis 2200 nm.

Das optische Design gewährleistet eine optimale Nutzung der Lichtleistung. Mit unserem Zweifach-Gitterwechsler kann das gesamte Spektrum ohne manuellen Gitterwechsel abgedeckt werden.

Principle of a Monochromator

High-Speed Filterrad

Das Licht wird wie beim Hyperchromator direkt vom Plasma der Lampe aufgenommen und kollimiert.

Nachdem es durch ein Filterrad mit 7 Filtern der Größe 42.5 mm gelaufen ist, wird es in eine Multimode-Faser eingekoppelt.

Der Wechsel zwischen benachbarten Filter ist in unter 80 ms möglich.

Principle of a Monochromator

Faserkoppler

Unser Faserkoppler ermöglicht das direkte Einkoppeln in eine Multimode-Faser.

Dafür wird das Plasma der Lampe über nur einen Spiegel auf das Faserende abgebildet.

Prozessmikroskope für insitu Beobachtung in Vakuum- und Prozesskammern

Sollen Prozesse in einer Vakuum- oder Prozesskammer beobachten werden, so steht man häufig vor der Herausforderung einen großen Abstand von der Optik bis zum Objekt realisieren zu müssen und dabei aber noch eine möglichst große Auflösung zu erreichen.

Dieser Aufgabenstellung haben wir uns in zahlreichen Projekten gestellt. Das Ergebnis sind unsere LD- und ULD-Prozessmikroskope.

Vakuum Optik

LD-Prozessmikroskop

Unser speziell für den Einsatz an Vakuumkammern entwickeltes Objektiv ermöglicht es Prozesse in einer Vakuumkammer in situ mit einer Auflösung von 1 µm zu beobachten.

Das Objektiv wird von außen an einen Viewport gesetzt und nimmt keinen Raum in der Kammer ein. Das zu beobachtende Objekt kann bis zu 100 mm vom Viewport entfernt frei im Inneren der Vakuumkammer liegen.

Auflösungstest 3300 Lp/mm

ULD-Prozessmikroskop

Ist Ihre Probe weiter als 100 mm vom Fenster der Prozesskammer entfernt, kommt unser Ultra-Long-Working-Distance  (ULD) Prozessmikroskop zum Einsatz. Hier kann Ihre Probe beliebig weit vom Fenster der Prozesskammer entfernt sein.

Bei einem Abstand von 250 mm ist eine Auflösung von 3.6 µm möglich.

 

Hochauflösende Testcharts

Gewöhnliche Auflösungstest ende bei Strukturgrößen um 1 µm. Unsere Testcharts erreichen 100 nm und sind damit besonders für Tests von hochauflösenden Mikroskopoptiken interessant.

Auflösungstest 3300 Lp/mm

Auflösungstests für die Mikroskopie

In hochpräziser E-Beam-Lithographie hergestellte Test Charts.

  • Test Charts  mit 7.5 bis 3300 Linienpaaren/mm und Pinholes mit Durchmessern zwischen 4.0 µm und 0.25 µm
  • Siemensstern, Segmente mit minimaler Breite von nur 150 nm
  • Pinholes von 0.18 µm bis 4 µm Durchmesser
  • Schachbrettmuster mit quadratischen 50×50 µm² oder 100×100 µm² Feldern
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